臺積電董事長劉德音近日受邀于2021年國際固態電路會議(ISSCC2021)開場線上專題演說時指出,臺積電3nm制程依計劃推進,甚至比預期還超前了一些。3nm及未來主要制程節點將如期推出并進入生產。臺積電3nm制程預計今年下半年試產,明年下半年進入量產。
劉德音指出半導體制程微縮腳步并未減緩,摩爾定律仍然有效,臺積電3nm比預期進度超前,至于2nm之后的電晶體架構將轉向環繞閘極(GAA)的nm片(nano-sheet)架構,而極紫外光(EUV)技術可支持到1nm。
臺積電2020年推出5nm制程并進入量產,與7nm相較,邏輯密度提升1.83倍,運算速度增加13%,運算功耗下降21%。臺積電預計2022年推出3nm制程,與5nm相較邏輯密度提升1.7倍,運算速度提升11%且運算功耗可減少27%。
臺積電日前宣布將在日本成立研發中心擴展3DIC材料研究,劉德音也提及臺積電在新材料上的技術創新,包括六方氮化硼(hBN)已接近實現量產。他強調,系統整合是半導體未來發展方向,Chiplet(小芯片)是能讓技術朝向正確方向發展的關鍵,而臺積電的SoIC先進封裝技術可實現3D芯片堆迭。
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